04-08
2021

賦能打造“中國芯”!廣鋼氣體攻關電子氣體“卡脖子”技術取得重大突破

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3月31日23:52分,1ppb,隨著長沙惠科超高純氣體供應項目現場調試指揮部傳來的如此簡單一個數字,遠在廣州的廣鋼氣體總部沸騰了。所有人都在通過廣鋼氣體新建的遠程數字化中心,密切關注著調試過程,每一個參數的跳動都連著大家的心跳。這是廣鋼氣體自主研發的Super-N系列超高純制氮系統優化后的巨大進步,也是該專利產品投入商業化實踐,助力攻關電子氣體“卡脖子”技術所取得的重大突破。


滿足國內最高質量標準,打響本土氣體品牌


作為國內第一家具有超高純電子大宗氣體供應服務能力的本土氣體企業,廣鋼氣體繼2018年打破外資壟斷,成功中標安徽滁州惠科超高純氣體項目后,持續發力技術與設備,2020年在電子氣體業務板塊再開新局,拿下長沙惠科超高純大宗氣站供應項目。

該項目是惠科公司在全國布局的第4個面板生產基地,總投資達320億元,在湖南長沙瀏陽經開區建設大尺寸超高清顯示屏及OLED 顯示屏生產線的重要供氣配套。建成后將為長沙惠科提供ppb級(即十億分之一的雜質含量,目前國內最高質量標準)的超高純氣體運營,并確保其可靠性超過99.6%以上,可供性達到100%。在3月31日進入調試收尾階段,制氮機氮氣產量達13400m3/h,產品純度達1ppb,比合同約定制氮機組供氣時間提前1個月。

 


填補國內技術空白,提供“中國芯”保障


高純氮氣是電子行業不可缺少的基礎性原材料,可用于超大規模集成電路、液晶顯示器件、半導體發光器件和半導體材料制造過程。高端電子行業中的氮氣純度必須保持約99.999999%,才符合電子行業的生產標準。

廣鋼氣體Super-N系列超高純制氮系統是廣鋼氣體在安徽滁州電子級超高純大宗氣站項目實施過程中,通過技術攻關,成功研發的國內首套具有自主知識產權技術的超高純氣體制取系統,創造了國內超高純后備系統供氣用時最短記錄,該系統在2019年成功試車投產,并于2021年初獲得國家頒發的發明專利證書。經優化設計后,在長沙惠科超高純氣體供應項目再次投入實踐,填補了國內制氮裝置出冷箱雜質1ppb的空白,可滿足目前最嚴格的芯片項目對制氮裝置出冷箱產品的純度要求,是廣鋼氣體發展歷程中里程碑式的技術進階,為進一步實現“廣鋼氣制造中國芯”目標提供了硬件保障。

 


攻關行業“卡脖子”難題,打破外資制約


今年3月,工信部等多個部委召開工業氣體“卡脖子”問題協調工作會議,協調推進解決制約行業發展的“卡脖子”問題,并提出當前電子氣體市場受制于外資品牌的發展困境。

廣鋼氣體積極突破行業壁壘,在與一眾外資巨頭競爭中,大力培育內資氣體品牌發展優勢,近幾年發展勢頭強勁。其中,電子氣體業務發展迅猛,在平板顯示、芯片、LED、太陽能等半導體領域均取得豐富實績,頻頻引起業內關注與認可。目前已分別在深圳、滁州建設三套國內領先的ppb級超高純氮氣空分裝置,及ppb級大宗氣體純化系統,形成了一道強有力的技術堡壘。下一步,廣鋼氣體將充分整合廣州工控資源條件,打造差異化競爭優勢,助力解決電子氣體“卡脖子”難題,打破半導體高端領域氣體材料進口制約,進一步推進我國電子氣體國產化進程,集中力量賦能打造“中國芯”。

 


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